Tillverkningstekniker för nanokomponenter

Kursen omfattar processteknologier som används i mikro- och nanotillverkning av komponenter och system på skivor. Tillämpningar är alla teknologier som baseras på tillverking på skivor så som integrerade kretsar, mikroelektriska-mekaniska system och optiska komponenter. De grundläggande tillverkningsstegen deponering, mönstring, etsning, dopning och värmebehandling behandlas följt av processintegration för att tillverka komplexa komponenter inklusive statistisk processkontroll och avkastningsmodeller. Moores lag och den grundläggande ekonomin för integrerade kretsar ingår och exemplifieras med avancerade processteknologinoder. Praktisk erfarenhet av att tillverka komponenter i ett renrum (Electrumlaboratoriet) och använda ett antal tillverkningssteg som behandlas i kursen. Kursen ger studenten grundläggande förståelse för hållbarhetsaspekterna inom integrerad kretstillverkning.