Nanoteknologi

Kursen beskriver processer och material inom mikrofabrikation (fotolitografi, olika typer av deponering och etsning av tunna filmer), nanofabrikationsprocesser (elektronstrålelitografi och etsning med hjälp av fokuserad jonstråle) och olika karakteriseringsmetoder och renrumsutrustning. Kursen behandlar fysiken bakom mikro/nanoteknologi (vakuum, plasma, elektronoptik, materialvetenskap, m.m.) och ger en överblick över den aktuella nanoforskningen och pågående utveckling av processer och material inom mikro/nanoteknologin.